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真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施有哪些
發(fā)布時間:2021-05-03   瀏覽:4117次

  真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施有哪些

  真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。下面,小編就為您介紹爐子的應(yīng)急措施。

真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施有哪些

  真空燒結(jié)爐冷卻水異常

  1、確認(rèn)加熱電源已停止。

  2、真空燒結(jié)爐爐外發(fā)生漏水,冷卻水量異常時,應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施,如能保證水量,請繼續(xù)保持真空,如不能采取應(yīng)急措施,保持原狀,確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。

  3、冷卻水發(fā)生異常時,設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài),馬上接通緊急用冷卻水。

  4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、真空燒結(jié)爐的換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。

  爐子運行中遇到停電

  1、停電時,如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。

  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,繼續(xù)運轉(zhuǎn)如需要較長時間,則將真空燒結(jié)爐保持原狀。

  3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復(fù)時,重新啟動設(shè)備,如果需要較長時間時,則保持真真空燒結(jié)爐原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來。

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  真空燒結(jié)爐的抽真空操作  真空燒結(jié)爐的要點是在真空環(huán)境中對物品進(jìn)行加熱,真空度的高低對于燒結(jié)的果有非常重要的影響。先來給看看真空燒結(jié)爐怎么抽真空的:  1、把任何個出氣嘴與真空用軟管連接起來;  2、對氣氛爐的爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空;  3、通入保護(hù)氣體;  4、再對爐腔進(jìn)行預(yù)抽真空;  5、如此循環(huán)幾次以達(dá)到爐膛內(nèi)氣氛要求。  如果你的真空燒結(jié)爐無法抽成真空的話,那很有可能是以下3個方面出現(xiàn)了問題,趕緊檢查下:  1、擴散泵的問題  檢查擴散泵是否完整,有沒有什么破損,如果有的話就需要更換,其次看下油位是否正常,如果是因為缺油的問題導(dǎo)致擴散泵運行不暢的話,及時添加即可。  2真空泵的問題  檢查真空泵里面是不是有破損的地方,如果有部件破損的話及時進(jìn)行更換,如果是小的問題,比如密封問題等小問題的話就自己修下,然后灌入新的機油就可以了。  3連接系統(tǒng)的問題;  檢查鏈接系統(tǒng)是否出現(xiàn)問題,是否存在密封不好的情況,如果有及時進(jìn)行補救。  般來說造成真空燒結(jié)爐抽真空不利的基本上就是這3種問題,只要逐排查相信定能找到問題的根源。

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